型号 |
平整度 |
台杆升降 |
旋转升降 |
卡盘 |
XYZ载物盘 |
探针座 |
PW-1200 |
5µm |
快速8mm,锁紧 |
25mm微调,1µm精度 |
12英寸,平整度5µm,真空吸附,孔径250µm~1mm |
旋转精度0.1度,XY300mm,可搭配显微镜,行程25.4mm,精度1µm |
可搭配4-8探针座,进行DC或高频测试 |
PW-800/600 |
5µm |
快速8mm,锁紧 |
25mm微调,1µm精度 |
6/8英寸,360度旋转平整度5µm,真空吸附,孔径250µm~1mm |
旋转精度0.1度,XY150/200mm,可搭配显微镜,行程25.4mm,精度1µm |
可搭配4-8探针座,进行DC或高频测试 |
PW-600 |
5µm |
快速8mm,锁紧 |
25mm微调,1µm精度 |
6/8英寸,360度旋转,平整度5µm,真空吸附,孔径250µm~1mm |
旋转精度0.1度,XY150mm,可搭配显微镜,行程25.4mm,精度1µm |
可搭配4-8探针座,进行DC或高频测试 |
PW-600 |
5µm |
快速8mm,锁紧 |
25mm微调,1µm精度 |
4英寸,360度旋转,平整度5µm,真空吸附,孔径250µm~1mm |
旋转精度0.1度,XY100mm,可搭配显微镜,行程25.4mm,精度1µm |
可搭配4-8探针座,进行DC或高频测试 |
可选附件
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- 射频测试探头及电缆
- 有源探头
- 低电流/电容测试
- 高压模块
- 激光修复
- 高清数字相机
- 探针卡/封装/PCB板夹具
- Hot Chuck
- 防震桌
- 屏蔽箱
-
兼容测试仪器
●各种型号示波器 ●各种品牌型号的源表
●安捷伦B1500、4155、4156 ●Keithley 4200
●各品牌的网络分析仪
应用领域
●Failure analysis 集成电路失效分析 ●Wafer level reliability晶元可靠性认证
●Device characterization 元器件特性量测 ●Process modeling塑性过程测试(材料特性分析)
●IC Process monitoring 制成监控 ●Package part probing IC封装阶段打线品质测试
●Flat panel probing 液晶面板的特性测试 ●PC board probing PC主板的电性测试
●ESD&TDR testing ESD和TDR测试 ●Microwave probing 微波量测(高频)
●Solar太阳能领域检测分析 ●LED、OLED、LCD领域检测分析
机台总述
●重量:80kg(含显微镜)
●尺寸:900mm宽*880mm长*800mm高(含显微镜)
●动力需求:电源220V/15A;4~6KG压缩空气
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高倍显微镜(金相显微镜)
高解析度,超长工作距离显微镜
目镜放大倍率:10X
2X Objective (34 mm working distance, 0.055 N.A.)
10X Objective (33.5 mm working distance, 0.28 N.A.)
20X Objective (20 mm working distance, 0.42 N.A.)
50X Objective (20.5 mm working distance, 0.42 N.A
100X Objective (13 mm working distance, 0.55 N.A.)
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ADV Stereo Zoom Microscope:
20X 目镜,0.75~5X Zoom, Total : 15 ~ 100X
30X 目镜,1~6.5X Zoom, Total : 30 ~ 195X
LED环型光源,清晰节能
可以加装CCD,把影像转到PC
高解析度数位CCD
500 万像素
USB和HDMI双影像输出
影像之PC存储
MP-10/MP-06/MP-01 探针座
X-Y-Z 行程:12mm x 12mm x 12mm
X-Y-Z 移动精度:125 /100/80 T.P.I
底座有真空、磁性翻转等多种搭配
针座可以搭配:DC probe和Pico probe、RF probe
大旋钮线性移动设计,很好的克服了螺旋式设计的蛇形缺陷
Triaxial Tubular type 三芯探针杆
进口2.1米长高品质信号线缆
电流量测精度可以达到50fA以下
搭配仪器:keithley 、安捷伦等
Coaxial tip holder 同轴探针杆
有弹簧夹式、管状式、锁螺丝式可选
进口1.5米长高品质信号线缆
电流量测精度可以达到PA级
搭配一起:keithley、示波器等
探针型号 规格
ST-20-0.5 1 micron dia 硬针
ST-20-2 5 micron dia 硬针
ST-20-5 10 micron dia 硬针
T-4-10 0.2 micron dia 软针
GGB各种型号高频探头
多样式转接头
Triaxial 转 Triaxial
Triaxial 转 Coaxial
Coaxial 转 Coaxial